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超純水是在純水的基礎上進一步將水中的導電介質幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水。電阻率等于或者接近18.2MΩ.cm(25℃)極限值。超純水設備就是生產超純水的設備。
1.大型超純水設備一般操作簡單管理方便，只需一臺主機制水，就可以同時供應終端使用;可集中管理，而各實驗室人員不需再做設備維護。
2.設備投資及運行成本低，終端使用點較多時，多采用中央純水系統，可降低設備投資運行及維護費用。
3.遠程全自動控制方式，符合現代實驗大樓的需求。采用PLC、觸摸屏、攝像監控等技術與遠程控制技術相結合，可以使制水設備的控制在遠離機房的辦公室內通過電腦操作，而不需專人在制水機房內操作，并且可以同時與外界打印機連接，實時記錄保存水質變化，便于分析實驗水質與實驗結果數據的關系。
4.多數大型超純水設備采用集中式制水主機，各實驗室無需安裝純水機和水箱，可以節約實驗室占地面積，符合現代實驗大樓的裝修要求。
超純水設備工藝流程：原水-超濾-反滲透-EDI-超純水
利用超濾，反滲透，EDI等膜元件組合集成，其中超濾系統作為預處理，除去水中的懸浮物膠體和有機物，降低濁度，SDI,COD等，實現了反滲透系統的高效，安全運行，使用高脫鹽率反滲透膜處理，使反滲透產水水質滿足EDI的進水標準。EDI膜元件的模塊化設計，可方便使組合任意產水規模，縮小占地空間。
1.實驗室：化學分析、熒光分析、監測分析、基因研究、生物實驗、組織培養等。
2.醫藥工業：藥劑、生化制品用水、醫用無菌水、腎透析用水及大輸液等注射用水。
3.化學工業：化工反應冷卻、化學試劑、化肥及精細化工、化妝品制造等工藝用水。
4.電子工業：半導體、液晶顯示器、計算機硬盤、印刷電路、集成電路塊、顯像管制造等用水系統。
5.電力工業：熱力、火力發電、中低壓鍋爐動力給水系統。
6.電鍍涂裝業：汽車、家電、建材等產品表面涂裝、鍍膜玻璃及蓄電池用水系統。
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